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为什么球形二氧化硅是集成电路制造的“天选材料”?
日期:2022-06-23    浏览次数:
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集(ji)成电(dian)路(lu)在信息技术领域(yu)具有重要地位(wei),受物联网、新能(neng)(neng)源智能(neng)(neng)汽车、智能(neng)(neng)终端制造、新一代移动(dong)通信等下游市(shi)场(chang)需(xu)(xu)求驱(qu)动(dong),集(ji)成电(dian)路(lu)行业飞速发展。高(gao)频、高(gao)功率的集(ji)成电(dian)路(lu)制造需(xu)(xu)要性(xing)能(neng)(neng)更加优越的材料以满足产业升级的需(xu)(xu)求。

为什么球形二氧化硅是集成电路制造的“天选材料”?

二氧化(hua)硅的独到之(zhi)处

在硅(gui)芯片封(feng)装(zhuang)过(guo)程中使用的(de)各种材料包(bao)括引(yin)线(xian)(xian)框(kuang)架材料、金(jin)属引(yin)线(xian)(xian)以(yi)及封(feng)装(zhuang)材料都(dou)必须具有相近的(de)热膨胀(zhang)系(xi)数(shu)(shu),才能保证在使用过(guo)程中器件不开裂脱落(luo),而实际上(shang)环氧树脂的(de)热膨胀(zhang)系(xi)数(shu)(shu)比硅(gui)单晶(jing)芯片和引(yin)线(xian)(xian)、引(yin)线(xian)(xian)框(kuang)架材料都(dou)大,所以(yi)在塑封(feng)料中加入适(shi)量(liang)低膨胀(zhang)系(xi)数(shu)(shu)的(de)填充剂,如SiO2等,可以降低固化物的(de)热膨胀(zhang)系数,从而减少(shao)塑封料固化后(hou)的收缩同时(shi)也可明显改善材料的机(ji)械性能、热稳定性和体积(ji)电(dian)阻(zu)率,降低成本

为什么球形二氧化硅是集成电路制造的“天选材料”?

各种(zhong)封装(zhuang)树脂材料(liao)及半导(dao)体器件构成材料(liao)的热膨(peng)胀系(xi)数(shu)图

 

以往覆(fu)铜箔板(ban)例如CEM3中运用填料时,多采用氢氧(yang)化(hua)铝(lv)和氢氧(yang)化(hua)镁,但(dan)氢氧化铝不耐热冲击200℃就开始分解氢(qing)氧化镁的价格偏贵二氧化硅(gui)填(tian)料用在覆(fu)铜箔板中更具(ju)有性能方面的优势,而(er)且价(jia)格与氢氧化铝相当。

以二(er)氧(yang)(yang)化硅、氢氧(yang)(yang)化铝、氢氧(yang)(yang)化镁(mei)作(zuo)填料的(de)基(ji)材的(de)性(xing)能比(bi)较表

类型

二氧(yang)化硅

氢氧化铝(lv)

氢氧化(hua)镁

耐热冲击(ji)性(288℃/20s,室温冷却10s为一循环)

9次循环

4次(ci)循环

6次循(xun)环

抗剥强度(常态)

1.98N/mm

1.81N/mm

1.32N/mm

弯曲强度(du)(常态)

210.3MPa

192.8MPa

185.9MPa

玻(bo)璃化转变温度

135.3/137.4℃

131.8/132.4℃

127.5/128.2℃

热(re)膨(peng)胀系数(z向,T260)

229μm/m℃

253μm/m℃

247μm/m℃

介电常(chang)数(shu)(1MHz)

4.13

4.40

4.54

介电损(sun)耗角(jiao)正切(1MHz)

0.0212

0.0225

0.0205

耐(nai)碱性

OK

白(bai)纹(wen)

OK

胶(jiao)水旋转粘(zhan)度(20℃)

880

1340

1080

球(qiu)形二氧化硅(gui)的优势

二氧化硅具有良好的介电性能、较低的热膨胀系数等综合性(xing)能,在(zai)环氧塑封料以及覆铜板(ban)中使用(yong)广泛。二氧化硅的(de)高填(tian)充可以降低成本、提高(gao)热导(dao)率、降低热膨胀系数、增加强度(du), 但是随着填(tian)充(chong)量的(de)增多, 体(ti)系粘(zhan)度(du)会急剧增加,材料的(de)流动性(xing)、渗透性(xing)变差, 二氧(yang)化硅在树脂(zhi)中的(de)分(fen)散困难, 易出现团聚的(de)问题。如何(he)进一步提(ti)高(gao)二氧(yang)化硅在材料中的(de)填(tian)充,从而降(jiang)低材料的热膨(peng)胀系数,是(shi)环氧(yang)塑封料以及覆铜(tong)板行业研究(jiu)的重要(yao)课题。

二氧化硅的形状是决定填充量(liang)的重要因(yin)素之一。与熔融(rong)型(角(jiao)形(xing))二(er)氧化硅相比,球(qiu)形(xing)二(er)氧化硅具有更高的堆积密度均匀的应(ying)力分布,因(yin)此可增加体系(xi)的流动性降低(di)体系(xi)粘度

不同类型二氧化硅的主要(yao)应用性(xing)能比(bi)较表

为什么球形二氧化硅是集成电路制造的“天选材料”?

环(huan)氧塑封料行(xing)业(ye)熔融(rong)型(角形)二氧化硅填充量一般(ban)低于总量的70%(重量比),采用球形(xing)二氧化硅后,填充量最高可达94%;在(zai)覆(fu)铜板行业熔融型(角(jiao)形)二氧化(hua)硅填充量一般(ban)低于总量的40%,采用球形二氧化硅后,填充(chong)量最高可达60%。因此尽管球(qiu)形(xing)二(er)氧化硅价格较高(gao),由于其(qi)特有的优(you)异性能(neng),球(qiu)形(xing)二(er)氧化硅越来(lai)越被覆铜板行业(ye)所(suo)青睐。

火焰(yan)法球形(xing)二氧化(hua)硅生产技术主要(yao)掌(zhang)握在日本、美(mei)国(guo)、韩国(guo)等国(guo)家手中, 特别是日本的球形二氧化硅生产技术一直处于世界领先水平。目前我国能够生产高纯球形二氧化硅、亚微米级球形二氧化硅的企业数量很少, 主要分布于江苏连云港、安徽蚌埠、浙江湖州等地区。球形二氧化硅是集成电路封装以及覆铜板的关键核心原材料, 关乎到国家的信息和国防安全,其(qi)重要性(xing)不容忽(hu)视

国(guo)内外球(qiu)形二(er)氧化硅(gui)生产(chan)厂家

为什么球形二氧化硅是集成电路制造的“天选材料”?

随着大规模(mo)集成(cheng)(cheng)电(dian)路(lu)技术的(de)(de)(de)(de)发(fa)展,对材(cai)料的(de)(de)(de)(de)性能要求也不断提高,球形(xing)二氧(yang)化硅由于填(tian)充(chong)量(liang)高、流动性好、热膨胀系数小、应力小、介电(dian)性能优异等(deng)特点(dian),符(fu)合集成(cheng)(cheng)电(dian)路(lu)行(xing)业发(fa)展的(de)(de)(de)(de)需要。随着国内球形(xing)二氧(yang)化硅生产技术水平的(de)(de)(de)(de)不断提升,产品价(jia)格的(de)(de)(de)(de)进(jin)一步(bu)降低,球形(xing)二氧(yang)化硅在集成(cheng)(cheng)电(dian)路(lu)中的(de)(de)(de)(de)应用有望(wang)进(jin)一步(bu)扩展,从而带(dai)动集成(cheng)(cheng)电(dian)路(lu)性能和技术的(de)(de)(de)(de)提升。

 

参考(kao)来源:

[1] 球形二氧化硅(gui)在覆铜板中的应用,柴颂刚、刘潜发、曾耀德、李晓冬(dong)、曹家凯。

[2] SiO2形貌及粒径对聚(ju)烯烃复合树(shu)脂介电特性的影(ying)响研究,张芳芳。

[3] 二氧化硅(gui)在覆铜板(ban)中的应用,杨艳、曾宪平。

[4] 硅(gui)芯片封装(zhuang)用球形SiO2与环氧树脂复合材料(liao)的制备工艺与性能研究,艾常春。

 

 

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