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随着国(guo)内(nei)大功率并(bing)网风力发电(dian)机的(de)相继投入，以及航(hang)空航(hang)天事(shi)业的(de)蓬勃发展，氮化硅陶瓷轴(zhou)承球(qiu)在国(guo)内(nei)外(wai)市场(chang)需求强劲。

氮化硅(gui)轴承

而它之所以能应(ying)用于上述领域，是因为氮化硅陶瓷材料具(ju)有高(gao)(gao)的(de)(de)硬(ying)度、耐(nai)磨(mo)性(xing)，低的(de)(de)密(mi)度和热(re)(re)膨(peng)胀系数(shu)，优(you)异的(de)(de)耐(nai)高(gao)(gao)温、无(wu)磁(ci)性(xing)、耐(nai)腐(fu)蚀(shi)、高(gao)(gao)导热(re)(re)、自润滑和优(you)异的(de)(de)抗热(re)(re)震(zhen)性(xing)、抗氧化性(xing)等诸多特点，因此(ci)是高(gao)(gao)温、高(gao)(gao)速、高(gao)(gao)精(jing)度以及特殊环境下工(gong)作(zuo)的(de)(de)轴承滚珠的(de)(de)首选(xuan)材料。

注：Si₃N₄是一种无(wu)机物(wu)，本身硬(ying)度大(da)，具有润滑(hua)性且(qie)耐(nai)磨损(sun)，Si-N₄四面体结构(gou)(gou)单(dan)元由(you)1个Si原(yuan)子和(he)4个N原(yuan)子通过(guo)共价(jia)键链接而形成(cheng)，四面体单(dan)元构(gou)(gou)成(cheng)三维(wei)空间网，特殊(shu)的(de)结构(gou)(gou)使氮化硅(gui)材(cai)料的(de)硬(ying)度(du)非(fei)常高，莫氏硬(ying)度(du)约为9，所(suo)以氮化硅(gui)材(cai)料在1400℃的(de)高温下材(cai)料性能(neng)也能(neng)保(bao)持(chi)稳定。

一、氮化硅陶瓷的(de)成球原理

为了将氮化(hua)硅(gui)陶瓷制备成高精(jing)度的(de)圆润(run)球体(ti)，关键就(jiu)在于(yu)研(yan)磨抛(pao)光(guang)(guang)过程中工(gong)具与(yu)球坯接触点的(de)轨迹(ji)线(xian)是否能(neng)均匀地分布(bu)于(yu)球体(ti)表面。下(xia)图是研(yan)磨抛(pao)光(guang)(guang)球体(ti)的(de)基本原理(li)，研(yan)具以角速(su)度ω绕(rao)Z轴旋转，与(yu)此同时被(bei)加工(gong)球以角速(su)度ω₁绕其瞬(shun)时自转轴Z₁回(hui)转。球坯的自转轴与水平轴的空间方位夹角(jiao)为θ，简称为自转角(jiao)。当自转角(jiao)θ不断(duan)变化，就(jiu)可能使研(yan)磨轨迹线(xian)均布于球面。

研磨抛光(guang)球体(ti)的基本(ben)原理

目(mu)前陶瓷球(qiu)的(de)机械(xie)(xie)研磨(mo)抛(pao)(pao)光(guang)(guang)方(fang)法(fa)大致有两类：一(yi)类是杯状(zhuang)研具(ju)加工方(fang)法(fa)，其特点是可(ke)(ke)实现球(qiu)体(ti)(ti)自转角(jiao)的(de)不断变化(hua)，加工精(jing)度(du)高，但(dan)每次只能加工一(yi)颗球(qiu)，多用于生(sheng)产标(biao)准球(qiu)和定位系统中的(de)高精(jing)度(du)球(qiu)体(ti)(ti)。另(ling)一(yi)类是磨(mo)盘加工方(fang)法(fa)，这是目(mu)前生(sheng)产陶瓷球(qiu)的(de)主要(yao)方(fang)法(fa)，一(yi)次可(ke)(ke)以加工数(shu)以千计的(de)球(qiu)，效率高，但(dan)精(jing)度(du)较(jiao)低。除了(le)机械(xie)(xie)抛(pao)(pao)光(guang)(guang)外(wai)，近年来还(hai)出现了(le)磁流体(ti)(ti)抛(pao)(pao)光(guang)(guang)、化(hua)学(xue)机械(xie)(xie)抛(pao)(pao)光(guang)(guang)和超(chao)声波辅助(zhu)抛(pao)(pao)光(guang)(guang)等超(chao)精(jing)密(mi)加工陶瓷球(qiu)的(de)新(xin)技(ji)术(shu)。采用这些新(xin)的(de)“柔性(xing)”加工技(ji)术(shu)可(ke)(ke)以实现对陶瓷球(qiu)表面材料(liao)的(de)微细切削，使余(yu)量得以塑性(xing)断裂的(de)方(fang)式去(qu)除，从而获得超(chao)光(guang)(guang)滑无损伤表面。

磁流体研磨加工(gong)方式(shi)

但无论是什么研磨抛光方式，其(qi)基本(ben)原理(li)就是通(tong)过(guo)磨粒及(ji)研磨液(ye)实现材料(liao)的(de)高效去除(chu)，球体在磨粒及(ji)研磨液(ye)的(de)作用(yong)下，加(jia)工变质层逐渐减(jian)少或去除(chu)，得到(dao)光滑(hua)或超光滑(hua)的(de)球面(mian)。作为硬脆性材料(liao)的(de)陶(tao)瓷(ci)球，由于其(qi)表面(mian)能较低(di)，所以对研磨液(ye)中各组成分有很(hen)高的(de)要求。

二、研磨液的主要成分(fen)及(ji)作(zuo)用(yong)

氮化(hua)硅(gui)陶瓷(ci)球属(shu)于硬脆性材料(liao)，其加(jia)(jia)(jia)工技(ji)术(shu)(shu)主要包(bao)括机械研(yan)(yan)磨(mo)加(jia)(jia)(jia)工技(ji)术(shu)(shu)、化(hua)学研(yan)(yan)磨(mo)加(jia)(jia)(jia)工技(ji)术(shu)(shu)及(ji)化(hua)学机械研(yan)(yan)磨(mo)加(jia)(jia)(jia)工技(ji)术(shu)(shu)。这(zhei)些研(yan)(yan)磨(mo)加(jia)(jia)(jia)工方式都需要研磨液来辅助加工(gong)，研(yan)磨液既能去除材料还能对工(gong)件表面(mian)精(jing)整(zheng)处理(li)。

研(yan)磨(mo)(mo)(mo)液的(de)(de)选用(yong)对研(yan)磨(mo)(mo)(mo)加(jia)(jia)工的(de)(de)效(xiao)率(lv)和(he)精(jing)度都有很大的(de)(de)影响，其在(zai)粗磨(mo)(mo)(mo)和(he)精(jing)磨(mo)(mo)(mo)阶段作用(yong)不(bu)同，粗磨(mo)(mo)(mo)阶段着(zhe)重提升(sheng)研(yan)磨(mo)(mo)(mo)效(xiao)率(lv)，精(jing)磨(mo)(mo)(mo)阶段提升(sheng)研(yan)磨(mo)(mo)(mo)精(jing)度。研(yan)磨(mo)(mo)(mo)液主(zhu)要是(shi)由(you)磨(mo)(mo)(mo)粒、研(yan)磨(mo)(mo)(mo)基(ji)液和(he)添加(jia)(jia)剂等组成，球坯在(zai)研(yan)磨(mo)(mo)(mo)加(jia)(jia)工的(de)(de)过程(cheng)中(zhong)，磨(mo)(mo)(mo)粒相当于刀具，可以去除(chu)表(biao)面余量，磨(mo)(mo)(mo)粒的(de)(de)硬度与大小(xiao)影响加(jia)(jia)工效(xiao)率(lv)与精(jing)度；基(ji)液是(shi)磨(mo)(mo)(mo)粒的(de)(de)载体(ti)，需满足磨(mo)(mo)(mo)粒的(de)(de)充分悬浮；添加(jia)(jia)剂主(zhu)要是(shi)辅(fu)助磨(mo)(mo)(mo)粒研(yan)磨(mo)(mo)(mo)，改(gai)善研(yan)磨(mo)(mo)(mo)环境。研(yan)磨(mo)(mo)(mo)液中(zhong)各成分的(de)(de)作用(yong)主(zhu)要有以下几点。

（一）磨(mo)料发挥的作(zuo)用

1、研磨(mo)作(zuo)用

径向(xiang)裂(lie)(lie)纹受到(dao)向(xiang)工件(jian)内(nei)部方(fang)向(xiang)的(de)作用(yong)力，这种(zhong)(zhong)裂(lie)(lie)纹会(hui)向(xiang)工件(jian)内(nei)部方(fang)向(xiang)发展(zhan)，会(hui)对(dui)工件(jian)有(you)损害(hai)，降低了氮(dan)化(hua)硅(gui)材(cai)(cai)料(liao)(liao)原有(you)的(de)硬度，但是这种(zhong)(zhong)现象并(bing)不会(hui)迅速发展(zhan)。氮(dan)化(hua)硅(gui)陶(tao)瓷球(qiu)作为脆性材(cai)(cai)料(liao)(liao)，其实也可以在一定(ding)的(de)加(jia)工条件(jian)下，通过塑性去除的(de)形式去除材(cai)(cai)料(liao)(liao)，可以通过压痕断裂(lie)(lie)力学模型计算发生(sheng)脆性去除的(de)临(lin)界(jie)条件(jian)，当这个条件(jian)低于脆性去除的(de)临(lin)界(jie)条件(jian)时，氮(dan)化(hua)硅(gui)陶(tao)瓷球(qiu)的(de)材(cai)(cai)料(liao)(liao)去除主(zhu)要(yao)以塑性去除为主(zhu)，临(lin)界(jie)条件(jian)与加(jia)压载荷和磨(mo)粒(li)(li)的(de)硬度有(you)关，因此，在加(jia)压载荷确定(ding)的(de)情况下，研(yan)磨(mo)液中(zhong)的(de)磨(mo)粒(li)(li)会(hui)对(dui)氮(dan)化(hua)硅(gui)陶(tao)瓷球(qiu)的(de)研(yan)磨(mo)加(jia)工效果(guo)产生(sheng)一定(ding)的(de)影响，所以研(yan)磨(mo)液的(de)磨(mo)粒(li)(li)选择很重要(yao)。

磨粒与(yu)陶瓷(ci)球表面的(de)加工(gong)区域示意图(tu)

除此之外(wai)，研(yan)磨过程中还会出现化学(xue)反应，可(ke)以改变(bian)氮化硅(gui)陶(tao)瓷球(qiu)表面材料的性质，将(jiang)较硬(ying)的氮化硅(gui)材料转(zhuan)化为二材料，从(cong)而(er)降(jiang)低球(qiu)体表面的硬(ying)度，材料去除效果更(geng)好，提高了被加工(gong)件的表面质量。

磨(mo)(mo)料的(de)(de)选(xuan)(xuan)择上，若想对(dui)工(gong)(gong)(gong)件产生最好的(de)(de)作用，在选(xuan)(xuan)择磨(mo)(mo)粒的(de)(de)时(shi)候一定(ding)(ding)要(yao)选(xuan)(xuan)择同时(shi)有硬(ying)度(du)大、高强度(du)、韧性(xing)好、稳(wen)定(ding)(ding)性(xing)高、化学稳(wen)定(ding)(ding)性(xing)同时(shi)具备自锐性(xing)等性(xing)能的(de)(de)磨(mo)(mo)粒。一般来(lai)说磨(mo)(mo)粒的(de)(de)硬(ying)度(du)必(bi)须(xu)不(bu)能低于(yu)被加工(gong)(gong)(gong)工(gong)(gong)(gong)件的(de)(de)硬(ying)度(du)，不(bu)然(ran)就不(bu)可能对(dui)工(gong)(gong)(gong)件进行有效研磨(mo)(mo)，但(dan)时(shi)也不(bu)能过(guo)高，硬(ying)度(du)过(guo)高往往会造(zao)成磨(mo)(mo)具磨(mo)(mo)损使其寿命缩短。

对(dui)于氮(dan)化(hua)硅高硬(ying)度陶瓷进行研(yan)磨(mo)加(jia)工一(yi)般(ban)选用碳化物磨粒(li)和金(jin)刚石类磨(mo)粒。碳(tan)(tan)化(hua)(hua)硅具(ju)(ju)(ju)有高硬度(du)(du)、高强度(du)(du)、化(hua)(hua)学稳定性好(hao)、热稳定性好(hao)的特(te)点，成(cheng)为陶瓷使用最多的材(cai)料(liao)，碳(tan)(tan)化(hua)(hua)硅在高温、高压(ya)、强酸(suan)、强碱条件(jian)下仍能(neng)(neng)保持化(hua)(hua)学性能(neng)(neng)不变，而(er)且碳(tan)(tan)化(hua)(hua)硅具(ju)(ju)(ju)有相(xiang)对(dui)小(xiao)的摩擦(ca)系(xi)数，所(suo)以(yi)它的耐磨(mo)性能(neng)(neng)相(xiang)对(dui)比较好(hao)。硬度(du)(du)大、熔(rong)点高、摩擦(ca)系(xi)数小(xiao)等是金(jin)刚(gang)石同时具(ju)(ju)(ju)备的特(te)点也适(shi)合氮(dan)化(hua)(hua)硅陶瓷研磨(mo)加工，但是金(jin)刚(gang)石价(jia)格昂(ang)贵，考虑经济问题金(jin)刚(gang)石磨(mo)粒(li)可用于(yu)超(chao)精研加工。

金刚石磨料

（二）液相(xiang)介质(zhi)发挥(hui)的作(zuo)用

1、润滑作用

氮(dan)化(hua)硅陶瓷(ci)球的(de)(de)(de)(de)表面材料被去除后，碎屑分(fen)散在溶液(ye)中(zhong)，对球体表面质(zhi)量影响较大，但是研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)的(de)(de)(de)(de)润滑(hua)作用可(ke)以在球体和碎屑之(zhi)间形(xing)成润滑(hua)膜(mo)(mo)，提高(gao)球体的(de)(de)(de)(de)转动或滚动效率，球体表面受到保护，有助于提高(gao)研(yan)磨(mo)(mo)加工(gong)的(de)(de)(de)(de)效率，可(ke)以在避免出现损伤的(de)(de)(de)(de)同(tong)时提高(gao)材料去除率。研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)中(zhong)基液(ye)是主要(yao)的(de)(de)(de)(de)润滑(hua)介质(zhi)，通过(guo)水的(de)(de)(de)(de)作用实(shi)现边(bian)(bian)界润滑(hua)，在与工(gong)件表面接触的(de)(de)(de)(de)时候会形(xing)成吸附膜(mo)(mo)与反应膜(mo)(mo)，这(zhei)些边(bian)(bian)界润滑(hua)膜(mo)(mo)可(ke)以很好(hao)地保护工(gong)件提高(gao)其(qi)自转能力。

吸(xi)附膜(mo)主(zhu)要有两种，分(fen)别(bie)是物(wu)理吸(xi)附膜(mo)和化学(xue)(xue)(xue)吸(xi)附膜(mo)。物(wu)理吸(xi)附膜(mo)主(zhu)要是靠研磨液中(zhong)(zhong)粒子之间(jian)的范(fan)德华力(li)相互(hu)吸(xi)引而形成的，存在于(yu)负(fu)荷(he)低(di)、转速低(di)的研磨环境下(xia)；化学(xue)(xue)(xue)吸(xi)附膜(mo)主(zhu)要是靠研磨液中(zhong)(zhong)极性分(fen)子之间(jian)的化学(xue)(xue)(xue)反应而形成的，存在于(yu)高温、高负(fu)荷(he)、高转速的研磨环境下(xia)，可(ke)以很好(hao)地(di)保护工(gong)件的表面(mian)。

2、冷(leng)却作用

研磨液(ye)的(de)(de)冷(leng)却作用是指研磨液(ye)可以(yi)吸(xi)收在加(jia)工(gong)过程中球体与磨粒之间相互挤(ji)压产生的(de)(de)热(re)量，使球体表(biao)面的(de)(de)温(wen)度(du)降(jiang)低，避免因温(wen)度(du)过高而(er)出(chu)现球体表(biao)面损伤等问题。研磨液(ye)流过加(jia)工(gong)区(qu)域，通过流体的(de)(de)流动性和液(ye)体汽化(hua)的(de)(de)方式带走加(jia)工(gong)热(re)量，降(jiang)低加(jia)工(gong)区(qu)域的(de)(de)温(wen)度(du)，保(bao)护被(bei)加(jia)工(gong)件。在加(jia)工(gong)区(qu)域的(de)(de)磨粒温(wen)度(du)也会(hui)升高，为(wei)了保(bao)证磨粒的(de)(de)自锐性能，增强(qiang)磨削效率(lv)，需(xu)要研磨液(ye)有很好的(de)(de)冷(leng)却性能。

研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)冷(leng)却性能优劣受(shou)到热(re)参数(shu)值和流(liu)动性的(de)(de)(de)(de)影(ying)响，研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)中的(de)(de)(de)(de)热(re)参数(shu)值大小由(you)比热(re)容(rong)及(ji)导热(re)速率(lv)决(jue)(jue)定；液(ye)(ye)体的(de)(de)(de)(de)流(liu)动性主要是由(you)渗(shen)透(tou)(tou)(tou)性决(jue)(jue)定的(de)(de)(de)(de)，液(ye)(ye)体的(de)(de)(de)(de)渗(shen)透(tou)(tou)(tou)性取(qu)决(jue)(jue)于表(biao)面(mian)(mian)张力和黏稠度的(de)(de)(de)(de)大小。当表(biao)面(mian)(mian)张力较大时(shi)，球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)体表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)会变(bian)(bian)成滴液(ye)(ye)状，此时(shi)溶(rong)液(ye)(ye)与(yu)陶瓷球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)接触(chu)角较大，研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)渗(shen)透(tou)(tou)(tou)性能减弱(ruo)，使其冷(leng)却性变(bian)(bian)低；当表(biao)面(mian)(mian)张力较小时(shi)，球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)体表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)会分散(san)均匀，此时(shi)溶(rong)液(ye)(ye)与(yu)陶瓷球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)接触(chu)角较小，研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)渗(shen)透(tou)(tou)(tou)性能增强，使其冷(leng)却性变(bian)(bian)强。

3、悬(xuan)浮作用(yong)

磨粒与磨粒之(zhi)(zhi)间(jian)有(you)一定的(de)相互作(zuo)用(yong)(yong)，会影响磨粒在(zai)研磨液中的(de)存在(zai)形式(shi)，主要有(you)两种(zhong)不同的(de)形式(shi)：一种(zhong)是(shi)团聚形式(shi)，另一种(zhong)为分散形式(shi)。磨粒之(zhi)(zhi)间(jian)的(de)相互作(zuo)用(yong)(yong)主要有(you)3种(zhong)，分别是(shi)静电作(zuo)用(yong)(yong)、范德华作(zuo)用(yong)(yong)和空(kong)间(jian)位阻作(zuo)用(yong)(yong)。

研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)中(zhong)(zhong)磨(mo)(mo)粒(li)(li)(li)的(de)(de)(de)分(fen)散(san)(san)效果(guo)(guo)好坏主(zhu)要(yao)由(you)基(ji)液(ye)(ye)决(jue)定(ding)(ding)，当基(ji)液(ye)(ye)介质(zhi)呈现亲水性时(shi)，疏(shu)水性物质(zhi)会对水有(you)(you)一(yi)定(ding)(ding)的(de)(de)(de)排斥作(zuo)用，从(cong)而(er)发生团聚现象(xiang)和沉淀，要(yao)对其(qi)进行亲水化(hua)处(chu)理。分(fen)散(san)(san)研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)中(zhong)(zhong)磨(mo)(mo)粒(li)(li)(li)时(shi)，要(yao)对磨(mo)(mo)粒(li)(li)(li)的(de)(de)(de)物理性质(zhi)做出判断，磨(mo)(mo)粒(li)(li)(li)大小、疏(shu)水性等(deng)都会对研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)的(de)(de)(de)分(fen)散(san)(san)效果(guo)(guo)产(chan)生一(yi)定(ding)(ding)的(de)(de)(de)影响。研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)中(zhong)(zhong)磨(mo)(mo)粒(li)(li)(li)的(de)(de)(de)分(fen)散(san)(san)工艺(yi)有(you)(you)很(hen)多，常(chang)用的(de)(de)(de)有(you)(you)机(ji)械搅拌、球磨(mo)(mo)分(fen)散(san)(san)及超声分(fen)散(san)(san)等(deng)，其(qi)中(zhong)(zhong)超声分(fen)散(san)(san)的(de)(de)(de)效果(guo)(guo)更好，磨(mo)(mo)粒(li)(li)(li)在研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)分(fen)布(bu)相对均匀(yun)，研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)(ye)的(de)(de)(de)稳(wen)定(ding)(ding)性更高。

4、清洗作(zuo)用

氮化(hua)硅陶(tao)瓷球(qiu)在加(jia)工(gong)(gong)过程中(zhong)产生(sheng)的(de)切屑未(wei)被及时清(qing)理，碎(sui)屑长时间(jian)地(di)停留在工(gong)(gong)件与磨(mo)(mo)粒(li)之(zhi)间(jian)，或者附(fu)着(zhe)在工(gong)(gong)件表(biao)面，不仅会(hui)对(dui)球(qiu)体表(biao)面产生(sheng)划伤(shang)，还会(hui)影响加(jia)工(gong)(gong)效率(lv)。通(tong)过在研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)中(zhong)添加(jia)一(yi)些表(biao)面活性剂来(lai)增(zeng)强(qiang)研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)的(de)清(qing)洗能力(li)(li)，这些添加(jia)剂可以降低碎(sui)屑的(de)附(fu)着(zhe)能力(li)(li)，使其被流动(dong)的(de)研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)带(dai)走(zou)，避免了工(gong)(gong)件表(biao)面的(de)损(sun)伤(shang)。研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)的(de)清(qing)洁能力(li)(li)与液(ye)体的(de)流动(dong)性和供压大(da)小有关，当研(yan)磨(mo)(mo)液(ye)的(de)流动(dong)性较强(qiang)时，清(qing)洁能力(li)(li)也会(hui)增(zeng)强(qiang)，比如水介(jie)质(zhi)研(yan)磨(mo)(mo)陶(tao)瓷球(qiu)，其清(qing)洁效果(guo)大(da)于油介(jie)质(zhi)研(yan)磨(mo)(mo)。

三、总结

陶瓷(ci)球的尺寸(cun)精度与表面(mian)质量对轴承的寿(shou)命有(you)着非常(chang)显著的影响，而要追(zhui)求(qiu)尺寸(cun)精度和(he)表面(mian)质量就需要重视(shi)研磨液(ye)的选择。通过分析(xi)研磨液(ye)主要成(cheng)(cheng)分以及作用，就能更具针对性地设计(ji)抛(pao)光液(ye)配方，对研发(fa)高效低成(cheng)(cheng)本的陶瓷(ci)球研磨抛(pao)光液(ye)将具有(you)重要意(yi)义。

资料来源：

张松林,薛会民(min). 氮化(hua)硅陶瓷球研磨液的机(ji)理研究[J]. 机(ji)械工程(cheng)师,2023(10):17-19,23.

张(zhang)松林. 氮化硅陶瓷(ci)球(qiu)水(shui)基研磨液的研究[D]. 河北(bei)(bei):河北(bei)(bei)工程大(da)学,2022.

张益昆. 氮(dan)化硅陶瓷球专用(yong)研磨液(ye)的(de)研究及装置设计[D]. 河北:河北工程大学,2020.

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