展商快讯 | 德中（天津）精密装备有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展，展位号：B625

日期：2023-05-11 浏览次数：次

展商快讯 | 珠海滢凯工业技术有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展，展位号：B630

德中（天津）精密装备有限公(gong)司，是一家以半(ban)导体、陶瓷(ci)薄(bo)膜(mo)电路加(jia)工技术、设(she)备(bei)为核心，开发、生产以晶圆(yuan)、陶(tao)瓷、铁氧(yang)体等(deng)为基材的清洗、电镀、化学镀、化学蚀刻(ke)等湿法加工(gong)设备，如(ru)：晶圆凸(tu)点化学(xue)镀Ni/Pd/Au(UBM)设备(bei)、超声(sheng)波清(qing)洗设备、电镀设备、光刻(ke)胶显影、除胶设备等。硬件(jian)技(ji)(ji)(ji)术(shu)、软(ruan)件(jian)技(ji)(ji)(ji)术(shu)、应(ying)用经验，是德中(zhong)的(de)技(ji)(ji)(ji)术(shu)基础，将三(san)者有机结合，综合运用，使(shi)德中(zhong)精密装备(bei)走上了守中报(bao)一的发展之(zhi)路。德中精密装备的设(she)备(bei)，拥有“窍门软(ruan)件化，工艺(yi)经验产品(pin)化”的特色，凭借工艺经验、质量、环境、柔(rou)性、多功(gong)能五(wu)个方面的优(you)势，不断地(di)满足高(gao)端制造业和前(qian)沿研(yan)发活动对(dui)材料精密加工(gong)、微(wei)细加工(gong)日益增长的需求。

展出精品(pin)推(tui)荐1:德中CS系列(lie) 超(chao)声(sheng)/兆(zhao)声清(qing)洗设(she)备

1.产品要(yao)点：

28KHz-1MHz频(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)可选，拥有(you)扫频(pin)(pin)(pin)、多(duo)(duo)频(pin)(pin)(pin)分时(shi)段清洗、多(duo)(duo)频(pin)(pin)(pin)率(lv)(lv)同时(shi)清洗等先进(jin)清洗技(ji)术，基板清洗更(geng)彻底；

2.性(xing)能特点：

&emsp;陶瓷、铁氧(yang)体、玻璃(li)、蓝(lan)宝石(shi)、硅片是常见的(de)电子器件(jian)基板材料，德中(zhong)CS系列(lie)的超(chao)声(sheng)(sheng)波/兆声(sheng)(sheng)波清洗(xi)设备(bei)可在PVD、PCVD前(qian)，对这些基板(ban)进行清洁(jie)处理，确保基板(ban)表面(mian)洁(jie)净无污染(ran)，确保金属(shu)镀层与基体(ti)的结合力。超(chao)声(sheng)(sheng)、兆声(sheng)(sheng)、PVDF槽(cao)(cao)、水晶(jing)槽(cao)(cao)、不锈钢槽(cao)(cao)、QDR水洗(xi)、溢(yi)流(liu)水洗(xi)、脱水等可根据客户要求定制。

德中超声(sheng)清(qing)洗(xi)设备可集成如(ru)下(xia)清(qing)洗(xi)工艺：

— 强酸浸泡清洗；

— 有机溶剂超声清洗，如丙酮(tong)、酒精等；

— 超(chao)声(sheng)酸洗功能(neng)；

— 超声碱洗功(gong)能(neng)；

— 水洗：如(ru)QDR快排水(shui)洗，溢流水(shui)洗等；

— 清(qing)洗液在(zai)线加热、N2在线加热等；

— 有机溶剂(ji)挥发检测(ce)、防火/灭(mie)火(huo)装置；

— 清洗槽与线外桶直(zhi)接循环，新(xin)旧药(yao)液自动更替，24H生产。

德中超声(sheng)清洗设(she)备其他功能：

— 清洗液自动配置、排放(fang)、补加、更换功能;

— 溶液温度、处理时间程序化控制；

槽体材质：PVDF\PTFE\PPH\不锈钢(gang)304-316等

展出精品推荐2：德中(zhong)TP系列 电镀/电镀填孔设(she)备

展商快讯 | 德中（天津）精密装备有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展，展位号：B625

1.产品要点：

采(cai)用(yong)独(du)特的射流技术，镀层均匀(yun)性好，效率(lv)高，适合(he)铜、镍(nie)、金(jin)、银、锡等(deng)多(duo)种金(jin)属电(dian)镀，同时适合(he)晶圆凸点(dian)、陶(tao)瓷填孔电(dian)镀；

2.产品介(jie)绍：

德中TP350/450/650系列电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)设备，采(cai)用独特的夹具设计，适合(he)陶瓷、铁氧体、玻璃等电(dian)(dian)子基板在(zai)PVD/PCVD后(hou)进行表面电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)金(jin)属(shu)加厚，液(ye)适合(he)晶圆凸点电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)。可(ke)电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)铜、镍、金(jin)、锡、银(yin)等各种金(jin)属(shu)；对(dui)于不同(tong)的金(jin)属(shu)镀(du)(du)(du)层(ceng)，厚度从0.5µm到(dao)300µm均可(ke)实现；软(ruan)件提示半自(zi)(zi)动(dong)(dong)操作(zuo)、行车全(quan)自(zi)(zi)动(dong)(dong)运行等操作(zuo)模式，均可(ke)根据客户需求定制；直流电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)、直流脉冲电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)、反(fan)向脉冲电(dian)(dian)镀(du)(du)(du)可(ke)选。

该设备采用独(du)特(te)的射流技术进行电(dian)镀，工件作为阴极，浸泡在(zai)电(dian)镀液(ye)中的(de)同时，电(dian)镀溶液(ye)从左、右(you)两侧强(qiang)力喷射向阴极，该(gai)设备(bei)也(ye)适(shi)合在(zai)陶瓷、硅片等(deng)基板(ban)上进行填孔(kong)电(dian)镀。射流电镀技术的优势(shi)：

n 阴极、阳极间离子(zi)交(jiao)换速度更快，整槽内离子(zi)浓(nong)度更加均(jun)匀，完(wan)全消除浓(nong)差极化；

n 电流密(mi)度更高，电镀(du)效率可(ke)提高30-40%；

n 孔(kong)内溶液交换(huan)快，适(shi)合(he)小孔(kong)、微孔(kong)、盲(mang)孔(kong)等板厚/孔径(jing)比大的基(ji)板(ban)电镀(du)，表面和(he)孔内(nei)镀(du)层厚度更趋一致(zhi)；

n 基(ji)板(ban)前后摆动(dong)，配合独特(te)的(de)喷射结构，整(zheng)个基(ji)板(ban)表面(mian)、所有基(ji)板(ban)孔的(de)喷射效果均匀、一致；

n 电镀厚度均匀(yun)性＜ 10%；

n 可两面施加相同或(huo)不(bu)同的电镀电流，两面镀层厚度(du)一致或(huo)不(bu)同；

n 电镀液喷(pen)射(she)(she)流量可调，喷(pen)射(she)(she)系统距(ju)离阴极距(ju)离可调，适合(he)陶(tao)瓷、HDI板(ban)等基板(ban)的填(tian)孔电(dian)镀(du)。

展出精品(pin)推荐3：德中(zhong)EU系列 化学蚀刻设备

1.产品要点：

垂直(zhi)喷淋技术、浸泡+溢流+抛动(dong)技术。多种(zhong)蚀刻方式，适合不同厚度(du)(du)金属(shu)膜(mo)层。完全避免(mian)“水池(chi)效应”，精度(du)(du)高，侧蚀小，一致(zhi)性好；

2.产(chan)品介绍：

一.喷淋蚀(shi)刻设备：EU450V

EU450V是(shi)一(yi)款垂直、喷(pen)淋、往复传动蚀(shi)刻设备，基板专用夹具带动陶瓷(ci)，垂直进入蚀(shi)刻区，被雾化的蚀(shi)刻液从前、后两(liang)侧同时喷(pen)淋腐蚀(shi)，再经(jing)过水洗、风干，完(wan)成(cheng)蚀(shi)刻；

n 两面同时蚀(shi)刻，两面效果(guo)均(jun)匀一致；

n 非接(jie)触、无(wu)阻(zu)挡式化学蚀刻(ke)设备，整个蚀刻(ke)过程传动机(ji)构(gou)与陶瓷无(wu)物理接(jie)触，对光(guang)刻(ke)胶、精细线(xian)路无(wu)损伤；

n 强力喷淋有利打破精细线路(lu)的(de)“微观(guan)水池效应”，更加适合精细线路蚀刻；

n 蚀刻(ke)液(ye)与基板接触发生蚀刻(ke)反应后，由(you)于自身(shen)重力自动(dong)脱离(li)基板表面，完全避免了水(shui)平上蚀刻(ke)中的“水(shui)池效应”，整板(ban)蚀刻效果一致，精度高，侧(ce)蚀小；

蚀刻方式分两种：

—直(zhi)(zhi)接蚀刻(ke)：基板进入蚀刻(ke)区前，蚀刻(ke)液喷淋(lin)，基板直(zhi)(zhi)接穿(chuan)过蚀刻(ke)区；

—往复蚀刻(ke)：基(ji)板进(jin)入蚀刻(ke)区前蚀刻(ke)液不喷淋，当基(ji)板进(jin)入并停(ting)止在(zai)蚀刻(ke)仓(cang)(cang)中(zhong)间，基(ji)板开(kai)始(shi)在(zai)蚀刻(ke)仓(cang)(cang)内左右(you)摆动，同(tong)时蚀刻(ke)液开(kai)始(shi)喷淋。蚀刻(ke)时间可以很短，也可以很长，非(fei)常适合(he)超厚金(jin)属蚀刻(ke)；

n 既能针(zhen)对超(chao)薄(bo)金(jin)属的蚀刻，又能蚀刻超(chao)厚金(jin)属，小身材，大用处(chu)；

n 配置适(shi)合陶(tao)瓷、FPC、微波电路板的专业夹具，适合多种应用；

占地小，投(tou)资回报率高。

展出精品推荐４：德中(zhong)DU系列 光(guang)刻胶显影设备

1.产(chan)品要点：

浸泡+溢(yi)流+抛(pao)动(dong)、浸泡+旋转技术可选。多种(zhong)方式，适合多种(zhong)光刻胶显影；

2.产品(pin)介绍：

浸泡+抛(pao)动+溢流显(xian)影设备：DU350/450/650

基板放(fang)置在显影盒中(zhong)（与蚀刻盒通用），采用浸(jin)泡(pao)+溶液自下而(er)上溢流+基板抛动方式进(jin)行蚀刻，适合多(duo)种光刻胶显影，如(ru)TMAOH、NaOH等。

陶瓷、玻璃、晶圆等(deng)基板(ban)被固(gu)定在装载(zai)夹具上，基板(ban)可以(yi)是圆形(xing)，也可以(yi)是方(fang)形(xing)，2英寸-8英寸均(jun)适用。装载(zai)夹(jia)具浸泡(pao)在(zai)蚀刻溶液(ye)(ye)中(zhong)，显影液(ye)(ye)自上而(er)下涌动、溢(yi)流(liu)，基板抛(pao)动。其特点是：

n 显影(ying)液在基板表面充分交换，保证新(xin)鲜(xian)的蚀(shi)刻(ke)(ke)液与金(jin)属膜层发生蚀(shi)刻(ke)(ke)反应(ying)，每片(pian)(pian)基片(pian)(pian)、基片(pian)(pian)上每点蚀(shi)刻(ke)(ke)速度一致；

n 基片装载夹(jia)具(ju)、槽体，均可(ke)采用316L/PTFE材(cai)质；

n 一台设备中可配置多(duo)个显影槽，配合水洗槽，可大大提高生产效(xiao)率；

n 显影槽(cao)设计有自动槽(cao)盖（选(xuan)项），减少药液(ye)挥发；

n 显影槽底部设计有均(jun)流板(ban)(ban)，通(tong)过均(jun)流板(ban)(ban)显影液上涌(yong)，显影槽采(cai)周(zhou)溢流方(fang)式，通(tong)过管(guan)路与线外桶连接；

n 不工作时显(xian)影(ying)液(ye)可存(cun)储在线(xian)外桶内(nei)，防(fang)止显(xian)影(ying)液(ye)遭受污染；

n 显(xian)影液的更换更加简(jian)单，直接更换线外桶即可；

n 可(ke)在不停(ting)产(chan)状态下更(geng)换显影液，实现(xian)7×24H连续生产；

n 药液(ye)涌(yong)动的(de)流速、压力可调，确保均(jun)匀一致的(de)显影效果(guo)；

n 抛(pao)动行程可调，确保(bao)均匀(yun)一致的(de)显影(ying)效(xiao)果；

n 设备槽体、管路、阀(fa)门全部采用(yong)适合高纯液体的材(cai)质和部件，确保不会污染工件；

n 可生成生产(chan)日志，所有(you)工件的(de)工艺参数(shu)均可记忆、导(dao)出、备查，也(ye)可实现远程监控(kong)功(gong)能；

n 全自(zi)动设(she)备、软件提示手动操作(zuo)均可，适合不(bu)同的客户需(xu)求(qiu)。

展出精品推(tui)荐5：德中SU系列 光刻胶除胶设备

1.产(chan)品要(yao)点：

浸泡+溢流+抛动、浸(jin)泡(pao)+旋转技术可(ke)选。多(duo)(duo)种(zhong)方(fang)式，适合多(duo)(duo)种(zhong)光刻胶除(chu)胶；

2.产(chan)品(pin)介(jie)绍：

浸泡(pao)+抛动(dong)+溢流除胶(jiao)设备：SU350/450/650

基板放置在清洗盒中（与蚀刻盒通用(yong)），采(cai)用(yong)浸泡(pao)+溶液自下而上溢流+基板抛动方式进行除胶(jiao)，适合多种除胶(jiao)液，如丙酮、NaOH等(deng)。如用丙酮除胶(jiao)，一般采用二步(bu)除胶(jiao)法，以便能彻底干净地将感光(guang)胶(jiao)去(qu)除，工(gong)艺流程如下：

展商快讯 | 德中（天津）精密装备有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展，展位号：B625

陶瓷、玻(bo)璃、晶(jing)圆等基(ji)板被固定在装载(zai)夹具上，基(ji)板可以(yi)是圆形(xing)，也可以(yi)是方形(xing)，2英寸-8英寸均适用。装载夹具浸泡在除胶溶液中，除胶液自上而下涌动(dong)、溢流，基板抛动(dong)。其特点是(shi)：

n 除(chu)胶液在(zai)基(ji)(ji)板(ban)表面充分交换(huan)，保证新鲜的除(chu)胶液与基(ji)(ji)板(ban)接触；

n 基片装载夹具(ju)、槽体，均可采用316L不锈钢(gang)加电解抛光处(chu)理；

n 一台设备中可(ke)配置(zhi)2个除胶槽，配合水洗槽，可大(da)大(da)提高(gao)生产(chan)效率；

n 除胶槽(cao)设(she)计有自动槽(cao)盖(gai)（选(xuan)项(xiang)），减少药液挥发；

n 除胶槽(cao)底部设(she)计有(you)均流板(ban)，通过均流板(ban)除胶液上(shang)涌(yong)，除胶槽(cao)采周(zhou)溢流方式，通过管路与线外桶连接；

n 不(bu)工作时除胶(jiao)液可(ke)存储(chu)在(zai)线外桶内，防止除胶(jiao)液遭受污染，也防止除胶(jiao)液的挥发；

n 除(chu)胶液的更换更加简单，直接更换线外桶即可；

n 可在不停产状(zhuang)态下(xia)更换除胶液(ye)，实现7×24H连续生产(chan)；

n 药液涌动的(de)(de)流速、压力可调，确(que)保均匀一致的(de)(de)除胶效(xiao)果；

n 抛动行(xing)程(cheng)可调，确保均匀一(yi)致的除胶效果；