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中(zhong)硅(gui)（山东）硅铝新材料有限公(gong)司经过多年的科研攻关，已经攻克气相法（CVD工艺）批量生(sheng)产高纯超细碳化硅(gui)粉(fen)的技术障碍，生产出的碳(tan)化硅微粉，属3C相β型，纯度(du)达到3N-5N；颗(ke)粒(li)(li)(li)均匀，粒(li)(li)(li)径主要(yao)分布(bu)在(zai)450-750nm，形态呈球状(zhuang)；硅碳摩(mo)尔比近似1：1；因其(qi)在(zai)高浓度(du)的氩(ya)气和(he)氢气环境下生成，颗(ke)粒(li)(li)(li)内部无氧(yang)。这种粉(fen)料是生(sheng)产高(gao)端碳(tan)化硅器件的(de)原料，器件在半导体(ti)制造工艺装(zhuang)备中(zhong)都有广泛应用(yong)，如：研磨(mo)抛光吸(xi)盘(pan)、光刻(ke)吸(xi)盘(pan)、检(jian)测吸(xi)盘(pan)、精(jing)(jing)密(mi)运动(dong)平台(tai)、蚀刻(ke)环节(jie)的(de)高(gao)纯(chun)碳(tan)化硅部件、封装(zhuang)检(jian)测环节(jie)中(zhong)精(jing)(jing)密(mi)运动(dong)系统等，其次(ci)，光伏硅生(sheng)产用(yong)的(de)碳(tan)化硅桨(jiang)也用(yong)到(dao)这种高(gao)纯(chun)超细碳(tan)化硅粉(fen)。

产品推荐1：碳化(hua)硅粉

1.技术(shu)参数

3C相ᵝ型，纯度3N-5N，颗(ke)粒度450-750nm

2.性(xing)能(neng)特点 

高纯、高细

3.应用领域

高纯碳化(hua)硅器件烧结(jie)