展商快讯 |中硅（山东）硅铝新材料有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展，展位号：B402

日期：2023-03-09 浏览次数：次

展商快讯 | 珠海滢凯工业技术有限公司确定参展CAC2023广州先进陶展，展位号：B630

中硅（山东）硅铝新材料(liao)有(you)限公(gong)司(si)经过多(duo)年的(de)科(ke)研(yan)攻关，已经攻克气相法（CVD工艺）批量生产高纯超细(xi)碳化(hua)硅粉(fen)的技(ji)术障碍，生(sheng)产出的碳化硅(gui)微粉，属3C相β型(xing)，纯度达到3N-5N；颗粒均匀，粒径主要分布在(zai)450-750nm，形态呈球状；硅碳(tan)摩(mo)尔(er)比近(jin)似1：1；因(yin)其在(zai)高浓度的氩(ya)气(qi)和氢(qing)气(qi)环境下生成，颗粒内部无氧(yang)。这(zhei)(zhei)种(zhong)粉料是生产(chan)高端碳(tan)化(hua)硅(gui)器件(jian)的(de)原料，器件(jian)在半导(dao)体制(zhi)造工艺装(zhuang)备中(zhong)都有广(guang)泛应用，如：研磨(mo)抛光(guang)吸(xi)盘、光(guang)刻(ke)吸(xi)盘、检测(ce)(ce)吸(xi)盘、精密运(yun)(yun)动平(ping)台、蚀刻(ke)环(huan)节(jie)的(de)高纯(chun)碳(tan)化(hua)硅(gui)部件(jian)、封装(zhuang)检测(ce)(ce)环(huan)节(jie)中(zhong)精密运(yun)(yun)动系统等，其次(ci)，光(guang)伏硅(gui)生产(chan)用的(de)碳(tan)化(hua)硅(gui)桨也用到这(zhei)(zhei)种(zhong)高纯(chun)超(chao)细碳(tan)化(hua)硅(gui)粉。