隨著近年全球范(fan)圍的經濟衰退(tui)和產業鏈重塑影響,制造業的亮(liang)點和焦點集(ji)中在新能(neng)(neng)源、半導體、電子通(tong)訊少(shao)數幾個(ge)領域,以光刻機為(wei)(wei)代表的關(guan)鍵設(she)備國(guo)產化(hua)也(ye)成為(wei)(wei)國(guo)家戰略高度的課題。但具體到不同(tong)細分領域,問題復雜程(cheng)度超(chao)乎想象(xiang),只(zhi)有(you)步步為(wei)(wei)營,才(cai)能(neng)(neng)由點及(ji)面(mian)地解決系統(tong)性難題。本文(wen)主(zhu)要介紹的是用(yong)于(yu)多(duo)(duo)層陶瓷(ci)片(pian)膜(mo)(如(ru)MLCC)、固(gu)體氧化(hua)物燃料電池(SOFC)、多(duo)(duo)層共燒(shao)陶瓷(ci)基(ji)板(LTCC、HTCC)等的關(guan)鍵設(she)備及(ji)其(qi)研(yan)發商——武漢(han)坤(kun)元流延科技有(you)限公司(si)(武漢(han)坤(kun)元)。
類似很多高端進(jin)口設(she)(she)備,KEKO、日(ri)本橫(heng)山等(deng)(deng)進(jin)品牌的(de)(de)(de)流(liu)延(yan)成型設(she)(she)備曾一度(du)非常昂貴,動輒幾(ji)百上千萬,這同樣是制約我國眾(zhong)多依賴(lai)流(liu)延(yan)工(gong)藝(yi)(yi)生產的(de)(de)(de)行業發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)。在此背景(jing)下,武漢(han)坤(kun)元(yuan)成立(li)伊始就(jiu)進(jin)行考察調研和系統實踐的(de)(de)(de)驗證,最終研發(fa)(fa)了出(chu)了以陶(tao)瓷流(liu)延(yan)機(ji)、溫等(deng)(deng)靜壓機(ji)、溫水均壓機(ji)為(wei)主的(de)(de)(de)陶(tao)瓷流(liu)延(yan)成型工(gong)藝(yi)(yi)的(de)(de)(de)成套(tao)設(she)(she)備。經過不斷積累發(fa)(fa)展(zhan)(zhan),武漢(han)坤(kun)元(yuan)如今已是電子、物理、環保、新能源材料等(deng)(deng)領域的(de)(de)(de)新材料片(pian)膜流(liu)延(yan)成型工(gong)藝(yi)(yi)的(de)(de)(de)領先(xian)專業設(she)(she)備供(gong)應商,可提供(gong)包括陶(tao)瓷流(liu)延(yan)機(ji)、真空(kong)脫泡機(ji)、輥筒球(qiu)磨(mo)機(ji)、裁切機(ji)、溫等(deng)(deng)靜壓機(ji)、真空(kong)疊層(ceng)機(ji)、涂覆機(ji)、雙面涂層(ceng)流(liu)延(yan)機(ji)等(deng)(deng)各類濕法成型成套(tao)設(she)(she)備。
一(yi)、明(ming)星設備
1、溫等靜(jing)壓機——高密度、高精(jing)度多(duo)層陶(tao)瓷生坯和薄(bo)膜的關鍵成(cheng)型設備。
技術參數:
【1】工作壓(ya)力:25MPa、40MPa、60MPa、100MPa(可選);
【2】工作介質:自(zi)來水/去離子水;
【3】使用溫(wen)度:最高(gao)80℃(可調(diao))。
性能特點(dian):
【1】操作系統(tong):10寸彩色液(ye)晶(jing)觸摸屏、電氣控制系統(tong)為西門子PLC可編程序控制;
【2】增(zeng)壓(ya)及加(jia)熱(re)(re)系統:利用氣(qi)體(ti)驅動增(zeng)壓(ya)泵,程序控制壓(ya)力(li)大(da)小(xiao),從而有效(xiao)地實現控制。采用電加(jia)熱(re)(re),加(jia)熱(re)(re)加(jia)壓(ya)具有同時工作(zuo)的功(gong)能;
【3】全自(zi)動化多段控制系統:可以全自(zi)動化多段程序預熱(re),增壓,恒壓,降壓;
【4】溫度(du)控(kong)制系(xi)統:多層生坯在等靜(jing)壓(ya)的(de)過程(cheng)中,需要(yao)一定的(de)溫度(du)。并且可以對于不同的(de)工藝參數進行(xing)不同溫度(du)的(de)設(she)定。加熱加壓(ya)具有同時工作的(de)功能;
【5】水(shui)(shui)位檢測系(xi)統:當主壓力腔體中的水(shui)(shui)位不足時,設(she)備水(shui)(shui)位自(zi)動報警;
【6】具有(you)過熱斷(duan)電(dian)保護功(gong)能,空(kong)燒或者水(shui)位不足(zu)及過熱時(shi),設備自動斷(duan)電(dian)保護。
2、陶瓷(ci)流延(yan)機(大型、中(zhong)型、實驗型)——精(jing)確(que)控制能夠確(que)保(bao)生產出高質量、均(jun)勻厚度的薄膜(mo)基(ji)板,可用(yong)于(yu)SOFC、LTCC、HTCC、MLCC片(pian)、功能薄膜(mo)材料、壓電陶瓷(ci)、陶瓷(ci)基(ji)板、片(pian)狀陶瓷(ci)元件、柔性磁性薄膜(mo)、傳感器、固(gu)體氧化物燃料電池的研(yan)發、生產。
大(da)型(xing)流延機
技術參數:
【1】流延寬度:240-1000mm之間合適;
【2】速(su)度:0.015-5.0(M/min);
【3】狹縫高度(du):5~4500μm;
【4】調刀精度(du):0.001mm;
【5】機械(xie)厚度(du)精(jing)度(du):±(1um+2%厚度(du));
【6】底板控制溫度(du):室(shi)溫~100℃(可調);
【7】進風(feng)最高(gao)(gao)溫度100℃,每段(duan)可(ke)獨(du)立調節(jie)(可(ke)以根據工藝另配高(gao)(gao)溫模塊(kuai));
【8】自動(dong)供(gong)料系統:液位高(gao)度0-40.0mm;
【9】膜帶纏(chan)繞帶有張力控制功能;
【10】適用漿料(liao)溶劑:水(shui)性,有(you)機溶劑。
性能特點(dian):
生(sheng)產效率高、設備精度高、操(cao)作簡(jian)便、維(wei)護(hu)方便。
3、真(zhen)空疊層壓(ya)機——應用于多層片(pian)膜(mo)制造過程(cheng)中(zhong)用半固化片(pian)或烘干(gan)后的片(pian)狀材(cai)料。在(zai)溫度和壓(ya)力(li)作用下,將(jiang)片(pian)膜(mo)在(zai)真(zhen)空、加(jia)溫、高壓(ya)下粘合(he)起來。
技術參數(shu):
【1】平(ping)臺尺寸:210*210mm(可定(ding)制);
【2】加熱(re)平臺溫控范圍:室溫-120℃;
【3】加(jia)熱模塊均勻(yun)性:±2℃;
【4】腔體(ti)真(zhen)空度(du):最高(gao)-0.065MPa;
【5】壓力(li)范圍(wei):6-40噸(dun)(可(ke)定制)。
性能特點(dian):
模塊式加熱系統,溫度(du)均勻(yun)性高;工(gong)作室真空狀態有(you)液晶顯(xian)示屏顯(xian)示,直(zhi)觀可(ke)靠;高壓環境采用液壓壓力單(dan)元(yuan),壓力控制(zhi)精準(zhun)。
二、核心技術
武漢坤(kun)元(yuan)的(de)(de)設(she)備相關的(de)(de)專利布(bu)局(ju)全面覆蓋:流延烘道類(lei),流延刮(gua)刀類(lei),雙面涂覆,真空疊層(ceng),新(xin)型溫(wen)等(deng)(deng)靜(jing)壓(ya)密封,新(xin)型溫(wen)等(deng)(deng)靜(jing)壓(ya)的(de)(de)缸(gang)體結(jie)構等(deng)(deng),并且通過(guo)不斷實驗,保證其穩定性(xing)及(ji)可(ke)靠性(xing)然后(hou)應(ying)用于設(she)備上。
三、典型案例
新(xin)能(neng)(neng)源方面:惠州億(yi)緯(wei)鋰能(neng)(neng)有限公司(si)(惠州市億(yi)緯(wei)新(xin)能(neng)(neng)源研究院)、漢福賽爾新(xin)能(neng)(neng)源科技(ji)有限公司(si);
氮(dan)(dan)化硅基(ji)板(ban)基(ji)板(ban)方(fang)面(mian):中材高新氮(dan)(dan)化物陶瓷有限(xian)公司;
LTCC和大規(gui)格MLCC方(fang)面:成都(dou)容瓷電子科(ke)技(ji)有(you)限公(gong)司、研創(chuang)光電科(ke)技(ji)(贛州)有(you)限公(gong)司等(deng)。
小結
目前全球(qiu)經濟和(he)(he)國際關(guan)系(xi)等并不樂觀(guan),但武漢坤(kun)元看來也(ye)是(shi)企業(ye)發展(zhan)的契機,盡可能(neng)早和(he)(he)盡可能(neng)多的實現關(guan)鍵設備(bei)進口替代(dai),在精度和(he)(he)穩(wen)(wen)定(ding)性上追趕和(he)(he)實現超越,為國內(nei)半導(dao)體、電子通訊(xun)和(he)(he)新能(neng)源產業(ye)發展(zhan)助(zhu)力,為健全穩(wen)(wen)固的產業(ye)生態助(zhu)力。
歡迎各位屆時(shi)蒞(li)臨CAC 2024廣州國際先進陶(tao)瓷產(chan)業鏈展(zhan)(zhan)覽會(同期展(zhan)(zhan)會:粉(fen)體裝(zhuang)備展(zhan)(zhan)、粉(fen)末(mo)冶(ye)金及3D打(da)印展(zhan)(zhan)),武漢坤元流延科技有限(xian)公(gong)司——展(zhan)(zhan)位號:B534,現場了解更多相關信(xin)息(xi)。
粉體圈整理